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        東莞潔凈棚中的溫度濕度操縱

        文章出處:鵬宇凈化電子責任編輯:網絡部人氣:發表時間:2020-03-02 16:01:51【
        潔凈棚室內空間的溫度濕度關鍵是依據工藝規定來明確,但在考慮工藝規定的標準下,應充分考慮人的舒適感感。伴隨著氣體潔凈度等級規定的提升,出現了工藝對溫度濕度的規定也愈來愈嚴的發展趨勢。
        實際工藝對溫度的規定之后也要例舉,但做為總體標準看,因為生產加工精密度愈來愈細致,因此對溫度起伏范疇的規定愈來愈小。比如在規模性集成電路芯片制造的光刻曝出工藝中,做為掩膜板原材料的夾層玻璃與硅片的線膨脹系數的差規定愈來愈小。直徑100um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務必有±0.1度的控溫,另外規定環境濕度值一般較低,由于人流汗之后,對商品將有環境污染,非常是怕鈉的半導體材料車間,這類車間不適合超出25度。
        潔凈棚
        環境濕度過高造成的難題大量,相對濕度超出55%時,冷卻循環水壁厚上面冷凝水,假如產生在高精密設備或電源電路中,就會造成各種各樣安全事故。相對濕度在50%最易銹蝕。除此之外,環境濕度太高時將根據氣體中的氧分子把硅片表面黏著的塵土有機化學吸咐在表面耐無法消除。相對濕度越高,黏附的難除掉,但當相對濕度小于30%時,又因為靜電力的功效使物體也非常容易吸咐于表面,另外很多集成電路工藝非常容易產生熱擊穿。針對硅片制造最好溫度范疇為35—45%。
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